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半导体结构、半导体结构的制备方法和半导体存储器技术
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文档序号:35525968
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本公开实施例提供了一种半导体结构、半导体结构的制备方法和半导体存储器,该半导体结构包括:沟道掺杂区;形成在沟道掺杂区两侧的漏极掺杂区和源极掺杂区;绝缘隔离层,包括第一绝缘隔离部分和第二绝缘隔离部分,第一绝缘隔离部分形成在沟道掺杂区的表面,第...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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