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本实用新型公开了一种用于有害气体的处理装置，属于半导体有害气体处理技术领域，解决了现有技术中反应腔内水壁不均匀、固体颗粒造成反应腔堵塞、散热性能下降和反应腔内壁腐蚀、用于有害气体的处理装置体积大的问题。该处理装置，包括沿尾气流动方向依次连接...
该专利属于上海协微环境科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海协微环境科技有限公司授权不得商用。

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