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氮化物层叠体及氮化物层叠体的制造方法技术
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文档序号:35503669
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本申请提供抑制对于氮化物层的污染,改善了结晶性的氮化物层叠体。所述氮化物层叠体具备高分子基材以及形成于上述高分子基材的至少一面的氮化物层,上述氮化物层为具有纤维锌矿型晶体结构的氮化物层,上述氮化物层所包含的氧原子的存在原子量为2.5atm....
该专利属于日东电工株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日东电工株式会社授权不得商用。
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