下载一种半导体器件及其封装结构的技术资料

文档序号:35492811

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本申请提供了一种半导体器件及其封装结构,涉及半导体技术领域。该半导体器件所述半导体器件包括衬底、位于衬底一侧的多个外延层;其中,外延层包括器件区与间隔区,相邻的器件区与间隔区之间设置有沟槽,且沟槽延伸至衬底;位于器件区上的APD单元;以及位...
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