下载激光加工装置及激光加工方法的技术资料

文档序号:35464230

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本发明的激光加工装置(10)具备:空间光调制器(12),其输入从激光源(11)输出的激光(La1),输出通过全息图相位调制后的激光(La2);及控制部(18),其使空间光调制器(12)呈现:通过聚光光学系统(14)使从空间光调制器(12)输...
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