下载一种氧化铟钨靶材的制备方法的技术资料

文档序号:35456830

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本发明公开了一种氧化铟钨靶材的制备方法:(1)将氧化铟粉体和氧化钨粉体混合;(2)将聚丙烯酸类分散剂和去离子水混合均匀,并调节混合液的pH值至8~10;(3)将步骤(1)制备的混合粉体与步骤(2)制备的混合液体湿磨混合,然后除泡处理;(4)...
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