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本发明公开了一种浮动式晶圆边缘打磨方法及装置，属于晶圆打磨技术领域，本方案通过在晶圆片表面喷涂掺有红外反射颗粒的保护定位层，对晶圆片进行包裹，避免了在打磨边缘时，晶圆碎屑对晶圆片表面造成损伤，同时利用红外反射颗粒配合红外扫描模块对晶圆片建立...
该专利属于山东润马光能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东润马光能科技有限公司授权不得商用。

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