温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种晶圆甩干机自动移门，包含门板、移门门体、锁门气缸、滑块、导轨和竖直气缸，移门门体固定在门板内侧，门板的两侧与锁门气缸连接由锁门气缸驱动沿水平方向移动，锁门气缸固定在滑块上，导轨竖直设置，滑块滑动设置在导轨上，滑块与竖直气...
该专利属于谷微半导体科技（江苏）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过谷微半导体科技（江苏）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。