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一种仪器化衬底设备经配置以测量波长分辨辐射，例如极紫外线辐射。所述仪器化衬底设备包含衬底及所述衬底上的光电传感器。所述光电传感器包含光发射材料、光电子收集器及测量电路。所述测量电路电耦合到所述光发射材料及所述光电子收集器。所述测量电路经配置...
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