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本发明提供的一种配气盘组件和配气装置，涉及配气装置领域。该配气盘组件包括配气盘上盖、配气盘本体、配气盘底座和压接结构；配气盘上盖、配气盘本体和配气盘底座依次连接，且配气盘上盖的端面与配气盘本体的端面密封贴合，配气盘本体的另一端面与配气盘底座...
该专利属于深圳市深科达半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市深科达半导体科技有限公司授权不得商用。

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