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本发明实施例提供一种湿法制程基板处理装置，包括：承载机台，承载机台用于运输显示基板；液气刀组件，设置在承载机台上方，用于驱除或隔离附着于显示基板上的两种不同介质；液气刀组件包括双刀口液气刀，双刀口液气刀包括第一液气刀口和第二液气刀口；第一液...
该专利属于赫曼半导体技术（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过赫曼半导体技术（深圳）有限公司授权不得商用。

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