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本发明提供了一种炉管镀膜设备。本发明的炉管镀膜设备包括炉体、供气装置和反射单元;所述炉体中空密封设置,所述炉体用于承载待镀膜对象,所述炉体并用于对所述镀膜对象进行加热,所述供气装置与所述炉体的中空处连通,所述供气装置用于所述镀膜对象提供镀膜...该专利属于江苏微导纳米科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏微导纳米科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种炉管镀膜设备。本发明的炉管镀膜设备包括炉体、供气装置和反射单元;所述炉体中空密封设置,所述炉体用于承载待镀膜对象,所述炉体并用于对所述镀膜对象进行加热,所述供气装置与所述炉体的中空处连通,所述供气装置用于所述镀膜对象提供镀膜...