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本发明涉及一种高精度CVD金刚石微细磨削工具，包括底座，底座下端设有四个相同的支架，且底座上表面左侧设有磨砂轮结构，上表面右侧设有观察收集台，底座上端连接有滑动机构；磨砂轮结构，磨砂轮结构包括磨砂带，磨砂带贯穿在底座表面，做正常转动，其电机...
该专利属于湖州中芯半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖州中芯半导体科技有限公司授权不得商用。

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