温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型是一种用于化学气相沉积的气态前躯物的热裂解装置，包含有一腔体、一导气管以及一加热装置，该导气管位于该腔体的容室内且具有一入口与一出口，通过该导气管的弯曲迂回状，使该气态前躯物能充分热裂解成离子(或原子)态前躯物，不仅可增加裂解效率...
该专利属于瑞砻科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞砻科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。