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公开了一种组合X射线荧光(XRF)分析装置。根据实施例，组合XRF分析装置可以包括：射线发射通道，包括射线源；能量色散XRF(EDXRF)探测通道，包括EDXRF探测器，EDXRF探测器被配置为探测对象被来自射线发射通道的射线照射而发出的荧...
该专利属于深圳市埃芯半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市埃芯半导体科技有限公司授权不得商用。

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