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本实用新型公开了一种新型石英舟直插式硅片上下料装置及系统，包括运输组件，包括运输驱动件、运输件，运输驱动件与运输件连接，运输件设有推料槽，且置放有待装卸硅片的石英舟；上下料组件，包括顶齿推送模块、移动驱动件、硅片抓取模块，顶齿推送模块安装于...
该专利属于罗博特科智能科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗博特科智能科技股份有限公司授权不得商用。

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