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本实用新型涉及化学机械抛光技术领域，具体公开了一种晶圆精确定位装置，包括放置机构、第一驱动气缸、保持环和背膜，放置机构与第一驱动气缸固定连接，并位于第一驱动气缸的输出端，背膜设置于保持环的下端，还包括微调机构；微调机构包括第一弹簧、放置腔、...
该专利属于科力芯（苏州）半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科力芯（苏州）半导体设备有限公司授权不得商用。

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