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一种检测图案单元，包含内图案层及外图案层。内图案层具有至少一个检测图案，外图案层位于内图案层的外侧而成方形，具有沿第一方向及第二方向两两相对的定位检测图案，其中，彼此相对的两个定位检测图案具有相同的节距，相邻的两个定位检测图案的节距可为相同...
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