下载进给轴机构的异常诊断装置的技术资料

文档序号:35367060

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本发明提供一种进给轴机构的异常诊断装置,在将伺服马达的旋转经由联轴器传递至滚珠丝杠而使移动体沿轴向移动的进给轴机构中,能够迅速地检测到异常的产生,并且能够准确地确定该异常的部位。异常诊断装置在测量出的谐振频率中的至少一个谐振频率相对于基准值...
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