下载振动器件的制造方法的技术资料

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提供振动器件的制造方法,能够以较少的工序数进行制造。振动器件的制造方法包含以下工序:准备包含多个单片化区域的基座晶片;在基座晶片的第1面侧配置振动元件;通过将盖晶片与基座晶片接合,得到按照每个单片化区域形成有收纳振动元件的收纳部的器件晶片;...
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