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本发明涉及一种体声波谐振器组件，所述体声波谐振器组件包括两个体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：基底；谐振结构，包括压电层、底电极和顶电极；支撑层，设置在所述基底和所述谐振结构之间；和声学镜，设置在所述支撑层和所述谐振结构之间。所述支撑层的...
该专利属于诺思（天津）微系统有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺思（天津）微系统有限责任公司授权不得商用。

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