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本发明涉及一种声波谐振器，包括：压电层；叉指电极，设置在压电层的上侧；基底，设置在压电层的下侧；声学镜空腔，设置在压电层的下侧，声学镜空腔在基底的厚度方向上贯穿基底且声学镜空腔在水平方向上的边界的至少一部分由基底限定，其中：压电层为单晶压电...
该专利属于诺思（天津）微系统有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺思（天津）微系统有限责任公司授权不得商用。

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