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一种晶圆清洗装置，包括：清洗部件，清洗部件包括：平行排布且相对旋转的第一清洗刷和第二清洗刷，第一清洗刷和第二清洗刷之间具有间隙；待清洗晶圆，待清洗晶圆位于间隙；以及偏心驱动部件，偏心驱动部件用于驱动待清洗晶圆转动、以及在清洗晶圆转动的过程中...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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