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本申请涉及锗加工技术领域的一种尾气的分离回收装置，包括与尾气源端依次连通的除尘箱、第一吸收组件和第二吸收组件；其中，所述除尘箱用于对尾气中粉末进行过滤缓存；所述第一吸收组件用于对尾气中四氯化物和氯化氢进行吸收缓存；所述第二吸收组件用于对尾气...
该专利属于山东有研国晶辉新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东有研国晶辉新材料有限公司授权不得商用。

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