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本申请公开了一种蒸发源装置以及蒸镀设备，该蒸发源装置包括：坩埚，设有空腔，空腔用于容置蒸镀材料；多个喷嘴，设置在坩埚的顶面上且与空腔连通，其中，多个喷嘴包括第一喷嘴；引导件，至少部分位于第一喷嘴的喷射路径上。本申请所提供的蒸发源装置能够提高...
该专利属于昆山国显光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山国显光电有限公司授权不得商用。

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