下载检查治具以及包括所述检查治具的电路基板检查装置的技术资料

文档序号:35339917

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本发明提供一种可缩短被检查基板的检查时间的电路基板检查装置。电路基板检查装置1具有对被检查基板W的电气电路进行检查的检查处理部3、检查治具4、以及在将检查处理部3相对于被检查基板W定位时使用的位置检测部6。检查治具4具有:探针单元70,具有...
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