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本发明涉及集成电路测试技术领域，且公开了一种表面扫描装置，包括扫描台、扫描头，所述扫描台的顶部安装有可沿X轴、Y轴与Z轴方向带动扫描头移动的移动模组，所述扫描台的顶部设置有用于集成电路板快速夹持定位的定位机构。该表面扫描装置，通过定位机构中...
该专利属于深圳市飞兆微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市飞兆微电子有限公司授权不得商用。

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