一种表面扫描装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及集成电路测试技术领域，且公开了一种表面扫描装置，包括扫描台、扫描头，所述扫描台的顶部安装有可沿X轴、Y轴与Z轴方向带动扫描头移动的移动模组，所述扫描台的顶部设置有用于集成电路板快速夹持定位的定位机构。该表面扫描装置，通过定位机构中固定的直角定位板与活动的主动板，能快速的对电路板进行夹持，且以直角定位板直角位置为扫描原点，进而能快速的对方形电路板进行定位，再通过定位弹簧与多组定位夹杆的配合使用，能快速的将圆形电路夹持在定位架中心处，以定位架圆心为扫描原点，进而能快速的对圆形电路进行定位，从而达到了能快速进行电路板定位，定位精度高的效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
一种表面扫描装置


[0001]本专利技术涉及集成电路测试
，具体为一种表面扫描装置。

技术介绍

[0002]集成电路产业的发展，集成电路已成为各个行业中电子、机电设备智能化的核心，起着十分重要的作用，在电子电气中，更高集成度和使用度的集成电路将芯片内外耦合发生的几率大大增加，集成电路往往是辐射源的根源；通常采用表面扫描设备对辐射发射测量进行测量。
[0003]现有的集成电路表面扫描设备在使用时，通常是直接将集成电路板放置在设备扫描台上，然后测量人员需要在电路板上进行扫描原点定位，人工定位不仅效率低，且定位精度差，影响测量结果的准确性。

技术实现思路

[0004]为实现以上能快速进行电路板定位，定位精度高，能适用于电路板局部测量，使用方便，能防止夹伤电路板目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种表面扫描装置，包括扫描台、扫描头，所述扫描台的顶部安装有可沿X轴、Y轴与Z轴方向带动扫描头移动的移动模组，所述扫描台的顶部设置有用于集成电路板快速夹持定位的定位机构。
[0005]优选的，所述扫描台的顶部固定连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种表面扫描装置，包括扫描台(1)、扫描头(3)，其特征在于：所述扫描台(1)的顶部安装有可沿X轴、Y轴与Z轴方向带动扫描头(3)移动的移动模组(2)，所述扫描台(1)的顶部设置有用于集成电路板快速夹持定位的定位机构。2.根据权利要求1所述的一种表面扫描装置，其特征在于：所述扫描台(1)的顶部固定连接直角位置为扫描原点的直角定位板(4)，所述扫描台(1)的顶部开设有摆槽(5)，所述定位机构包括安装在摆槽(5)中，且能与直角定位板(4)配合，自动对角夹持集成电路板的夹持机构(8)。3.根据权利要求2所述的一种表面扫描装置，其特征在于：所述夹持机构(8)包括铰接在摆槽(5)中的定位摆杆(81)，所述定位摆杆(81)的内部滑动连接有伸缩杆(82)，所述定位摆杆(81)的内部转动安装有能通过回转弹簧自动回转的卷轮(83)，所述卷轮(83)与伸缩杆(82)之间连接有卷绳(84)，所述伸缩杆(82)的顶部安装有可自转，且自转方向与定位摆杆(81)摆动方向相同的主动板(9)。4.根据权利要求3所述的一种表面扫描装置，其特征在于：所述摆槽(5)的内部，且位于定位摆杆(81)的铰接中心固定连接有固定轮，所述定位摆杆(81)的内部转动安装有与固定轮相啮合的传动轮(89)，所述定位摆杆(81)的内部转动安装有与传动轮(89)相啮合，且与主动板(9)通过传动带传动连接的换向轮(810)，所述定位摆杆(81)的内壁滑动连接有位于传动带内侧的动滑轮(811)，且动滑轮(811)与定位摆杆(81)内壁之间设置有绷紧弹簧，所述定位摆杆(81)的内壁安装有位于传动带外侧的定滑轮(812)。5.根据权利要求4所述的一种表面扫描装置，其特征在于：所述动滑轮(811)与定滑轮(812)至少设置有三组，且动滑轮(811)与定滑轮(812)交叉分布。6.根据权利要求2所述的一种表面扫描装置，其特征在于：所述直角定位板(4)的下方设置有从动板(10)，所述摆槽(5)的内部铰接有与定位摆杆(81)...

【专利技术属性】
技术研发人员：张泽华，
申请(专利权)人：深圳市飞兆微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：