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本说明书实施例公开了一种晶圆清洗方法，在将晶圆进行化学工艺处理之后进行清洗时，将所述晶圆固定在旋转台上；在所述晶圆旋转过程中，将设置在高压喷嘴装置中的清洗剂通过高压喷洒向所述晶圆，其中，所述高压喷嘴装置设置在所述晶圆上方，所述高压喷嘴装置包...
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