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一种半导体化合物注入合成方法,涉及半导体材料的合成,基于合成系统完成,所述合成系统采用开放式气源装置,所述方法包括:放置材料、下探开放式气源装置、融化金属材料、气化气源材料完成合成。有益效果:本发明的合成方法,开放式气源装置挡板下面部分为反...
该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十三研究所授权不得商用。

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