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本实用新型公布了一种硅片清洗机用清洗槽，包括清洗箱槽、翻转架，所述清洗箱槽为顶部开口的箱体结构，所述翻转架为回型结构，且所述翻转架设置在所述清洗箱槽的内部，所述翻转架的两侧均固定连接有主轴杆，且所述主轴杆与清洗箱槽贯穿且转动连接，所述翻转架...
该专利属于晶芯半导体（黄石）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过晶芯半导体（黄石）有限公司授权不得商用。

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