下载半导体结构及半导体结构的制备方法的技术资料

文档序号:35219954

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本公开实施例涉及一种半导体结构及半导体结构的制备方法,半导体结构包括:基底,基底表面具有阵列排布的有源柱,有源柱包括沟道区以及位于沟道区上下两侧的顶部掺杂区以及底部掺杂区;字线,字线沿第一方向延伸,且环绕沿第一方向排布的一行有源柱的沟道区;...
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