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本实用新型公开了一种用于承载硅片的载板，包括：托盘和底架，托盘上设有至少一个承载位，承载位用于承载于硅片；底架支撑设置于托盘背离硅片的一侧，底架上设有朝向托盘设置的支撑部，支撑部支撑托盘。这样，通过在底架上设有支撑部，支撑部支撑承载托盘，从...
该专利属于嘉兴阿特斯技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴阿特斯技术研究院有限公司授权不得商用。

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