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本申请公开了用于检查半导体样本的图像生成。提供一种检查半导体样本的系统和方法，包括：获得所述样本的区域的帧序列，所述帧序列由被配置成从多个方向扫描所述区域的电子束工具获取，所述序列包括多个帧组，每组帧从相应方向获取；以及配准所述多个帧组，并...
该专利属于应用材料以色列公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料以色列公司授权不得商用。

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