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本实用新型涉及磁控溅射设备技术领域，尤其是一种新型磁控溅射夹具，包括制具，为具有一定厚度的板材，作为夹持的基板，多组固定装置，贯穿于所述制具，且所述固定装置的一端伸出于所述制具的一侧，所述固定装置的一侧连接有用于连接的弹性件，且所述弹性件的...
该专利属于苏州华博电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州华博电子科技有限公司授权不得商用。

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