下载一种半导体器件及其制作方法的技术资料

文档序号:35194165

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本申请提供了一种半导体器件及其制作方法,涉及半导体技术领域。该半导体器件包括:衬底;位于衬底正面的外延层,其中,外延层包括器件区与间隔区,间隔区位于相邻的两个器件区之间,器件区与间隔区之间设置有沟槽,沟槽的底部露出衬底;位于器件区上的APD...
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