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本发明公开了一种可在线计量的材料放气精确测试装置及其方法，属于测量技术领域，以解决放气测试过程中存在的气体成分敏感和测量仪器灵敏度变化的问题。本发明的一种可在线计量的材料放气精确测试装置包括稳压室，设有第一真空抽气组件；测试室，设有第二真空...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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