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本发明公开了一种离子束注入系统。包括：缝隙盖板队列模块和操纵器；离子源产生器缝隙盖板队列模块位于离子束真空腔室内，包括多个缝隙盖板；离子源产生器操纵器设置在离子束真空腔室外壁上，用于控制更换离子源产生器上的缝隙盖板；离子源产生器操纵器包括缝...
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