下载一种多晶硅棒生长直径测量装置的技术资料

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本实用新型属于硅片生产设备技术领域,公开了一种多晶硅棒生长直径测量装置,包括卷尺,所述卷尺的外壁固定连接有定位标,所述卷尺的尺条活动贯穿定位标,所述卷尺的尺条下端固定连接有束缚夹,所述束缚夹的内端夹有硅棒,所述卷尺包括壳架和弹力座,所述弹力...
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