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本实用新型涉及一种半导体加工设备，包括进气部、升降部以及腔体，进气部包括螺旋进气管，螺旋进气管设置在腔体的内部，升降部与进气部连接以控制螺旋进气管在腔体的内部升降，螺旋进气管的主体被构造成由多个弧形部形成的对称结构，多个弧形部具有相同的圆心...
该专利属于盛吉盛半导体科技（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛吉盛半导体科技（北京）有限公司授权不得商用。

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