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本发明公开了一种晶圆中心晶粒生成方法、装置、设备及存储介质，涉及光学缺陷检测技术领域。其中，晶圆中心晶粒生成方法，包括以下步骤：将多张晶粒检测帧图拼接成包括多个完整晶粒的晶粒总图；查找晶粒总图中所有完整晶粒并进行切割，以生成用于训练中心晶粒...
该专利属于武汉精测电子集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉精测电子集团股份有限公司授权不得商用。

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