一种晶圆中心晶粒生成方法、装置、设备及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种晶圆中心晶粒生成方法、装置、设备及存储介质，涉及光学缺陷检测技术领域。其中，晶圆中心晶粒生成方法，包括以下步骤：将多张晶粒检测帧图拼接成包括多个完整晶粒的晶粒总图；查找晶粒总图中所有完整晶粒并进行切割，以生成用于训练中心晶粒的数据集；采用图像融合的方法训练所述数据集，以生成所述中心晶粒。本发明专利技术能够不依赖于人工参与，自动生成精度较高的中心晶粒。动生成精度较高的中心晶粒。动生成精度较高的中心晶粒。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆中心晶粒生成方法、装置、设备及存储介质


[0001]本专利技术涉及光学缺陷检测
，具体涉及一种晶圆中心晶粒生成方法、装置、设备及存储介质。

技术介绍

[0002]晶圆（Wafer）缺陷检测是半导体生产领域中必不可少的一项工艺流程。其中晶圆缺陷检测流程上要求能够根据每帧待检图像，输出每个待检晶粒（Die）与中心晶粒（Golden Die）的差异，从而判断此差异位置是否是缺陷。
[0003]然而如何选取一个Golden Die，是一项较为困难的事情。其难点在于拍摄时由于光学条件的不稳定，会有畸变、明暗场等问题。同时由于Die过大，多数情况下一帧图像无法完全囊括整个Die，会有多帧图分别拍摄同一Die的不同部位，然后从多帧中获取同一Die的有用信息，此时想要生成一张Golden Die图像将会更加困难。
[0004]传统的Golden Die生成方式是全手工或者半自动方式生成。全手工方式是通过人工筛选若干张符合要求的Die，然后再进行手动对位，这种对位方式就面临一些问题：a）需要熟练工人来进行挑选样本；b）样本数过大很难本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆中心晶粒生成方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：将多张晶粒检测帧图拼接成包括多个完整晶粒的晶粒总图；查找晶粒总图中所有完整晶粒并进行切割，以生成用于训练中心晶粒的数据集；采用图像融合的方法训练所述数据集，以生成所述中心晶粒。2.根据权利要求1所述的一种晶圆中心晶粒生成方法，其特征在于：通过特征点匹配的图像拼接算法，将多张晶粒检测帧图拼接成包括多个完整晶粒的晶粒总图。3.根据权利要求1所述的一种晶圆中心晶粒生成方法，其特征在于：基于模板匹配的方式，查找晶粒总图中所有完整晶粒并进行切割。4.根据权利要求3所述的一种晶圆中心晶粒生成方法，其特征在于，所述基于模板匹配的方式，查找晶粒总图中所有完整晶粒并进行切割，包括：选取一备选完整晶粒；将所述备选完整晶粒作为模板，在晶粒总图中寻找与所述备选完整晶粒相似的部分，以将晶粒总图中所有完整晶粒查找并切割出来。5.根据权利要求1所述的一种晶圆中心晶粒生成方法，其特征在于，所述采用图像融合的方法训练所述数据集，包括：获取数据集中多张切割后的完整晶粒图像的灰度信息；通过在相同像素点对每张完整晶粒图像的灰度值赋予权值，以计算融合图像的灰度值的方式，训练所述数据集。6.根据权利要求1所述的一种晶圆中心晶粒生成方法，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：万光继，张虎，
申请(专利权)人：武汉精测电子集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：