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本发明公开了一种矩形通道热隔断多电极雾化器,属于加热雾化器技术领域,包括硅衬底、电极本体、多个雾化通孔和多个隔热通道,所述电极本体沉积于所述硅衬底的顶面上,所述电极本体上开设有多个避空通孔,相邻的两个所述避空通孔之间形成电极条,所述雾化通孔...该专利属于美满芯盛(杭州)微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过美满芯盛(杭州)微电子有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种矩形通道热隔断多电极雾化器,属于加热雾化器技术领域,包括硅衬底、电极本体、多个雾化通孔和多个隔热通道,所述电极本体沉积于所述硅衬底的顶面上,所述电极本体上开设有多个避空通孔,相邻的两个所述避空通孔之间形成电极条,所述雾化通孔...