下载复合体及晶体管的技术资料

文档序号:35133068

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本发明提供一种新颖的材料。本发明是一种混合有第一区域及多个第二区域的复合氧化物半导体。其中,第一区域至少含有铟、元素M(元素M是Al、Ga、Y和Sn中的一个或多个)及锌,多个第二区域含有铟和锌。由于多个第二区域具有比第一区域更高的铟浓度,所...
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