下载一种半导体芯片检测装置的技术资料

文档序号:35112216

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本发明涉及半导体芯片生产领域,具体公开了一种半导体芯片检测装置,包括投影板、调节杆、拖载板、夹持模块与投影组件,投影板上端面中心处设有调节杆,调节杆的上端面安装有拖载板,拖载板的上方设置夹持模块,夹持模块安装在投影板上,夹持模块的上方设有投...
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