下载一种进气均匀的硅烷流化床的技术资料

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本实用新型公开了一种进气均匀的硅烷流化床,一种进气均匀的硅烷流化床,包括反应炉和安装于反应炉底部的气体分布器;所述气体分布器包括内环分布器和外环分布器,所述内环分布器由若干相间分布的第一内环底盘和第二内环底盘构成,所述外环分布器连接于内环分...
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