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本实用新型属于离子体化学气相沉积领域，提供了一种等离子体化学气相沉积的可调节装置,所述可调节装置包括涂覆器，所述涂覆器的开有贯穿的共振腔，所述涂覆器两端对应设有可调节共振腔扼止结构大小的调节装置。本实用新型解决了等离子体化学气相沉积的可调节...
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