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本实用新型公开一种标记卡盘，其中，所述标记卡盘包括机架和下压机构，所述机架具有安装开口，安装开口用于放置晶圆；下压机构包括下压驱动组件、第一固定板及至少两个第一压块，下压驱动组件固定于机架；下压驱动组件与第一固定板传动连接，两个第一压块设于...
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