温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及硅片生产技术领域，具体是一种硅片生产用晶圆打磨设备。本实用新型包括底座，所述底座上表面固定有四个第一支撑座，且第一支撑座上表面转动连接有承载板，所述底座上表面边缘固定有支撑架，且支撑架上端固定有四个气缸，且气缸的伸缩端固定连接...
该专利属于科力芯(苏州)半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科力芯(苏州)半导体设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。