下载一种基于同轴度标准器轴线角摆测量装置及补偿方法的技术资料

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一种基于同轴度标准器轴线角摆测量装置及补偿方法,它涉及一种测量装置及补偿方法。本发明为了解决超精密转台的加工和安装会引入误差的问题。本发明所述测量装置包括同轴度标准器、电传感器、超精密转台、定位机构和基座;超精密转台和定位机构并排安装在基座...
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